華南師范大學未來科技研究院對石牌校區產業大樓一樓進行改造,建設科研級光學平臺,設置一個千級實驗室和一個萬級實驗室。施工方案包括潔凈室墻面地面改造、電力系統改造、潔凈空調系統安裝、氣路系統安裝、純水系統安裝等。
項目主要功能:對實驗室進行升級,將其潔凈系統達到萬級與千級的級別;電力系統滿足柔性光子芯片核心設備的運行需求。
項目主要用途:為柔性光子芯片相關設備提供一個高質量的無塵環境,從而使實驗的準確性與安全性更高。根據大型貴重設備的使用要求對場地進行升級,放置設備包括脈沖激光沉積系統、等離子體增強型化學氣相沉積裝置、真空多靶磁控濺射設備、超高真空電子束蒸發設備、真空等離子清洗機、雙光子無掩膜飛秒激光光刻系統、飛秒激光微加工系統、聚焦離子/電子雙束系統、高精度光刻機、高精密3D打印機、納米材料沉積柔性印刷電子設備、PDMS微流控芯片加工平臺、超快激光器OPO、OPA等。