芯片制造車間裝修關鍵技術要點

一、環境控制系統

1. 空氣凈化體系

• 采用FFU+HEPA三級過濾系統（初效G4+中效F8+高效H13）

• 潔凈等級需達到ISO Class 3-5級（每立方米0.1μm顆粒≤1000個）

• 保持5-10Pa正壓差梯度

2. 溫濕度控制

• 溫度22±1℃，濕度45%±5%RH

• 專用恒溫恒濕機組需配備備用系統

• 循環風量保證每小時換氣次數≥50次

二、建筑裝修規范

1. 圍護結構

• 雙層彩鋼板夾芯墻體（厚度≥50mm）

• 圓弧角處理（R≥50mm）避免積塵

• 防靜電環氧樹脂自流平地面（電阻值10^6-10^9Ω）

2. 特殊要求

• 所有穿墻管線必須密封處理

• 門禁互鎖系統（緩沖間壓力平衡）

• 黃光區特殊照明（波長590nm）

三、機電系統配置

1. 電力保障

• 雙路供電+UPS不間斷電源

• 獨立接地系統（接地電阻≤1Ω）

• 防爆電氣設備（Ex dⅡCT6等級）

2. 氣體管理

• 大宗氣體管道采用EP級不銹鋼管

• VMB氣體分配系統

• 尾氣處理SCR裝置

四、驗收標準

項目標準值檢測方法粒子濃度≤3520顆/m³(0.5μm)ISO 14644-1噪音水平≤65dB(A)GB 50073照度500-750luxJGJ 71

建議施工前進行CFD氣流模擬，裝修完成后需進行72小時連續測試驗證。